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发明名称 SEMICONDUCTIVE CORROSION AND FOULING CONTROL APPARATUS, SYSTEM, AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1579034(A4) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20030808972 申请日期 2003.10.17
申请人 APPLIED SEMICONDUCTOR INTERNATIONAL, LTD. 发明人 KHORRAMI, FARSHAD;DOWLING, DAVID, B.
分类号 C23F13/00;C23F13/04;(IPC1-7):C23F13/00;C23F13/02;C23F13/06 主分类号 C23F13/00
代理机构 代理人
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