发明名称 |
一种手持取双面抛光硅片的工具 |
摘要 |
一种双面抛光机的手持取硅片工具,它包括:手持部分,与手持部分连接的夹持部分,所述的夹持部分为同心圆上的两段弧,弧的横断面呈V形沟槽。取片时可以用手握住手持部分,使硅片在水的冲力下滑入到弧形沟槽内以防滑出,同时避免接触到硅片的正面,以及取片时硅片在抛光垫上滑移与抛光布直接接触所带来划伤。本实用新型的优点是该工具非常简单实用,有效地避免硅片表面直接在抛光布上滑移所带来划伤。从而提高工作效率和抛光片的成品率。 |
申请公布号 |
CN201079952Y |
申请公布日期 |
2008.07.02 |
申请号 |
CN200720173529.9 |
申请日期 |
2007.09.30 |
申请人 |
北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 |
发明人 |
库黎明;阎志瑞;索思卓 |
分类号 |
B25J1/04(2006.01);B25J15/00(2006.01) |
主分类号 |
B25J1/04(2006.01) |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郭佩兰 |
主权项 |
1.一种手持取双面抛光硅片的工具,其特征在于:它包括:手持部分,与手持部分连接的夹持部分,所述的夹持部分为同心圆上的两段弧,弧的横断面呈V形沟槽。 |
地址 |
100088北京市新街口外大街2号 |