微位移的测量方法

摘要

本发明涉及一种微位移的测量方法,包括:提供一微位移感测器,包括具有复数第一晶柱的第一光子晶体模组、具有复数第二晶柱的第二光子晶体模组、镭射源及探测器,第一晶柱内设有形成入光口及出光口的第一导光通道,第二晶柱内设有形成探测口的第二导光通道,镭射源设置于入光口,探测器设置于探测口;将第二光子晶体模组固定于待测器件上,第一导光通道与第二导光通道相耦合;以及,当待测器件带动第二光子晶体模组移动时,镭射源发出的光经由入光口进入第一导光通道,一部光经由出光口出射,另一部分光耦合进入第二光子晶体模组的第二导光通道并经由探测口被探测器探测,藉由读取探测器获得的光强与位移的正弦曲线,即可得到待测器件的水平位移。