| 发明名称 | 显影液盛滚筒湿润及清理装置 | ||
| 摘要 | 一种显影液盛滚筒湿润及清理装置,包含:显影室;液盛滚筒,用以驱动基板进入显影室;显影槽,储存显影液;至少一喷嘴,位于显影室之底部,用以将显影槽之显影液喷洒至液盛滚筒;及压力控制器,用以控制喷嘴喷洒之流量及压力,藉此使液盛滚筒透过喷嘴所喷洒之显影液保持湿润,不会因停滞过久而产生结晶物。 | ||
| 申请公布号 | TW200827946 | 申请公布日期 | 2008.07.01 |
| 申请号 | TW095147722 | 申请日期 | 2006.12.19 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 陈维绮;颜骏翔;锦识 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01);G03F7/26(2006.01);B05C11/10(2006.01) | 主分类号 | G03F7/32(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 李文贤 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 | ||