| 主权项 |
1.一种用以曝出微小通孔图案的相位移光罩,包括 有: 一透光基板,具有一上表面; 一不透光材料层,镀于该透光基板的上表面,其中 该不透光材料层具有一开口,暴露出下方该透光基 板的预定透光区域; 其中该预定透光区域包括有: 十字形第一透光区域,系以蚀刻方式蚀刻该透光基 板至第一基板厚度;以及 除了该十字形第一透光区域以外的第二透光区域, 其中该第二透光区域具有一第二基板厚度,该第二 基板厚度较该第一基板厚度厚,如此使得通过该十 字形第一透光区域的光线与通过该第二透光区域 的光线的相位差为180度。 2.如申请专利范围第1项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该透光基板为石英基板。 3.如申请专利范围第1项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该不透光材料层为铬层。 4.如申请专利范围第1项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该不透光材料层完全阻挡 光线的穿透。 5.如申请专利范围第1项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该预定透光区域为矩形区 域,且该第二透光区域又分为四个彼此不相连的子 区域,位于该矩形区域的四个角落。 6.如申请专利范围第5项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该子区域为矩形。 7.一种用以曝出微小通孔图案的相位移光罩,包括 有: 一透光基板,具有一上表面; 一不透光材料层,镀于该透光基板的上表面,其中 该不透光材料层具有一开口,暴露出下方该透光基 板的预定透光区域; 其中该预定透光区域包括有: 十字形第一相位移区域;以及 除了该十字形第一相位移区域以外的第二相位移 区域,其中通过该十字形第一相位移区域的光线与 通过该第二相位移区域的光线的相位差为180度。 8.如申请专利范围第7项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该透光基板为石英基板。 9.如申请专利范围第7项所述之用以曝出微小通孔 图案的相位移光罩,其中该不透光材料层为铬层。 图式简单说明: 第1图绘示的是依据本发明较佳实施例可曝出微小 孤立通孔图案之相位移光罩的布局示意图。 第2图绘示的是本发明相位移光罩沿着第1图切线I- I'之剖面示意图。 第3图至第6图说明本发明可曝出微小孤立通孔图 案之相位移光罩的制作步骤。 |
