具有宽带特性之干涉光学显示系统

摘要

可在微机电系统(MEMS)显示装置中藉由并入一具有低于针对干涉调变器之操作光学范围内之光波长的一临限値的消光系数(k)之材料而达成宽带白色。一个实施例提供一种制造该MEMS显示装置之方法,该方法包含:在一透明基板之至少一部分上方沈积该材料,在该材料层上方沈积一介电层,在该介电质上方形成一牺牲层,在该牺牲层上沈积一导电层,及藉由移除该牺牲层之至少一部分形成一空腔。该适当材料可包含锗、各种组成之锗合金、经掺杂锗或含经掺杂锗之合金,且可沈积于该透明基板上方,并入于该透明基板或该介电层内。