发明名称 Kantenverrundung von Wafern
摘要 Die Erfindung beansprucht ein Werkzeug, ein Ingot, einen Wafer und ein Verfahren zum Verrunden von Wafern, insbesondere von Siliziumscheiben für die Photovoltaik, wobei ein Kantenprofil dem Ingot aufgeprägt wird. Erst nach dem Aufprägen des Kantenprofils erfolgt das Abtrennen eines Wafers vom Ingot. Dabei hat der abgetrennte Wafer ein definiertes Teilkantenprofil.
申请公布号 DE102006060195(A1) 申请公布日期 2008.06.26
申请号 DE20061060195 申请日期 2006.12.18
申请人 JACOBS UNIVERSITY BREMEN GGMBH 发明人 BERGHOLZ, WERNER
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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