发明名称 METHOD FOR ACCELERATING ETCHING OF SILICON
摘要
申请公布号 EP1935009(A1) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 EP20060806773 申请日期 2006.09.18
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENZEL, HUBERT;PINTER, STEFAN;SCHELLING, CHRISTOPH;PIRK, TJALF;GONSKA, JULIAN;KLOPF, FRANK;LEINENBACH, CHRISTINA
分类号 H01L21/306;H01L21/3213 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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