| 发明名称 | 位置修正装置、真空处理装置以及位置修正方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种即使不使用输送机器人也能够消除位置偏差的技术。使载置于载置台(55)上的输送对象物(31～33)旋转，使误差角度(α)变为零后，使临时载置部(16)向斜向移动，使水平分量移动误差距离(L)，使输送对象物(31～33)的中心(O′)位于载置台(55)的中心轴线(58)上，载置到载置台(55)上。在刻痕的方向确定的情况下，再使载置台(55)旋转希望的量。这样，不使用输送机器人便能消除误差角度(α)与误差距离(L)。 | ||
| 申请公布号 | CN101208791A | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200680022769.7 | 申请日期 | 2006.06.22 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 藤井佳词 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);B65G49/07(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温大鹏 |
| 主权项 | 1.一种位置修正装置，具有：载置台，使输送对象物以旋转轴线为中心在与上述旋转轴线垂直的一个平面内旋转；台升降机构，使上述载置台上下移动；临时载置部，临时载置上述输送对象物；和斜向修正移动装置，使上述临时载置部向相对于上述旋转轴线成既定交叉角度倾斜的斜上下方向移动。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||