一种微波介电可调的钛酸锶铋薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有钙钛矿结构的钛酸锶铋微波介电可调薄膜的制备方法，采用溶胶-凝胶工艺，以分析纯的醋酸锶、硝酸铋和钛酸四丁酯为起始原料，冰醋酸和乙二醇乙醚为溶剂，乙酰丙酮为稳定剂，合成化学组成为 Bi_xSr_1－1.5xTiO₃的钛酸锶铋溶胶先体；利用快速热处理工艺技术，在基片上制备出具有钙钛矿结构的钛酸锶铋薄膜。利用铋对钛酸锶薄膜的微观结构改性，使薄膜在不降低可调特性的同时降低薄膜的介电损耗，提高薄膜的品质因子，从而得到新型的、可实用的微波介电可调薄膜材料。

主权项

1.一种微波介电可调的钛酸锶铋薄膜的制备方法，其特征是，包括下述步骤：a、首先以醋酸锶、硝酸铋和钛酸四丁酯为起始原料，冰醋酸和乙二醇乙醚为溶剂，乙酰丙酮为稳定剂，采用溶胶一凝胶工艺制备化学组成为BixSr1-1.5xTiO3，浓度为0.4～0.5mol/L的钛酸锶铋溶胶先体，所述的x为0.05～0.1；b、将步骤a所得的稳定的钛酸锶铋溶胶先体采用旋涂工艺沉积在基片上，并在热处理炉中于350～650℃进行快速干燥和退火处理6～10分钟，得到单层立方钙钛矿结构的钛酸锶铋膜；c、重复步骤b操作制备5-8层膜，得到厚度为0.35～0.5微米的多层钙钛矿结构的钛酸锶铋薄膜。