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发明名称
摘要
申请公布号
JP4106906(B2)
申请公布日期
2008.06.25
申请号
JP20010395479
申请日期
2001.12.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01S5/22;H01S5/042;H01S5/323
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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