发明名称 基于膜片挠度的光纤压强传感器
摘要 一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒的下端为用于感受压强的膜片,其侧壁开有两圆孔;一光纤光栅,该光纤光栅安装于支撑筒内,其两端穿过支撑筒侧壁的两圆孔,用于测量压强;一端盖,该端盖安装在支撑筒的上端,以密封该支撑筒;一杠杆,该杠杆概似一L形,该杠杆通过一轴平行于光纤光栅安装于支撑筒内部的中间,该杠杆的一端与膜片的中心点接触,该杠杆的另一端有一凸起,该杠杆用于传递压强。
申请公布号 CN101206150A 申请公布日期 2008.06.25
申请号 CN200610165533.0 申请日期 2006.12.21
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 张文涛;李芳;刘育梁
分类号 G01L1/24(2006.01);G01L11/02(2006.01);G01L19/00(2006.01) 主分类号 G01L1/24(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1.一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒的下端为用于感受压强的膜片,其侧壁开有两圆孔;一光纤光栅,该光纤光栅安装于支撑筒内,其两端穿过支撑筒侧壁的两圆孔,用于测量压强;一端盖,该端盖安装在支撑筒的上端,以密封该支撑筒;一杠杆,该杠杆概似一L形,该杠杆通过一轴平行于光纤光栅安装于支撑筒内部的中间,该杠杆的端与膜片的中心点接触,该杠杆的另一端有一凸起,该杠杆用于传递压强。
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