发明名称 |
基于膜片挠度的光纤压强传感器 |
摘要 |
一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒的下端为用于感受压强的膜片,其侧壁开有两圆孔;一光纤光栅,该光纤光栅安装于支撑筒内,其两端穿过支撑筒侧壁的两圆孔,用于测量压强;一端盖,该端盖安装在支撑筒的上端,以密封该支撑筒;一杠杆,该杠杆概似一L形,该杠杆通过一轴平行于光纤光栅安装于支撑筒内部的中间,该杠杆的一端与膜片的中心点接触,该杠杆的另一端有一凸起,该杠杆用于传递压强。 |
申请公布号 |
CN101206150A |
申请公布日期 |
2008.06.25 |
申请号 |
CN200610165533.0 |
申请日期 |
2006.12.21 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
张文涛;李芳;刘育梁 |
分类号 |
G01L1/24(2006.01);G01L11/02(2006.01);G01L19/00(2006.01) |
主分类号 |
G01L1/24(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1.一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒的下端为用于感受压强的膜片,其侧壁开有两圆孔;一光纤光栅,该光纤光栅安装于支撑筒内,其两端穿过支撑筒侧壁的两圆孔,用于测量压强;一端盖,该端盖安装在支撑筒的上端,以密封该支撑筒;一杠杆,该杠杆概似一L形,该杠杆通过一轴平行于光纤光栅安装于支撑筒内部的中间,该杠杆的端与膜片的中心点接触,该杠杆的另一端有一凸起,该杠杆用于传递压强。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |