具有图案式表面的III族元素氮化物层

摘要

用一种制造方法形成Ⅲ族元素氮化物的图案层。该方法包括形成晶体底衬，并在该底衬的平表面上形成第一Ⅲ族元素氮化物的第一层。该第一层具有单一极性，还具有孔或者沟槽的图案，这些孔或者沟槽露出一部分底衬。该方法还包括在第一层和露出的底衬部分上外延生长第二Ⅲ族元素氮化物的第二层。该第一和第二Ⅲ族元素氮化物具有不同的合金组份，该方法还包括用碱的水溶液处理第二层，从而使第二层形成图案。

主权项

1.一种方法，包括：形成具有平表面的晶体底衬；在该平表面上形成第一III族元素氮化物的第一层，该第一层具有单一极性和具有孔或者沟槽的图案，这些孔或者沟槽露出底衬的一部分；然后在第一层和露出的底衬部分上面外延生长第二III族元素氮化物的第二层，该第一和第二III族元素氮化物具有不同的合金组份，第二层在第一层上的部分具有金属极性且第二层在底衬上的部分具有N极性；以及用碱的水溶液处理第二层，以便机械地使第二层形成图案，从而在其中具有变形阵列，所述碱的水溶液选择更多地腐蚀第二层的N极性部分而非第二层的金属极性部分。