| 发明名称 | 连接磁性靶和背衬板的方法以及磁性靶 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种将板厚度变化较小的磁性物质靶连接到背衬板的方法，其特征在于具有以下步骤：事先连接磁性物质靶和铝板，并保持平坦性，将连接到铝板的磁性物质靶连接到背衬板上，并保持平坦性，研磨除去铝板，从而可以保持磁性物质靶的平坦性，直到磁性物质靶通过一个相对简单的操作连接到背衬板上。 | ||
| 申请公布号 | CN100396812C | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN02825748.0 | 申请日期 | 2002.11.14 |
| 申请人 | 日矿金属株式会社 | 发明人 | 山越康广;藻垣贤一 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;杨青 |
| 主权项 | 1.一种连接磁性物质靶和背衬板的方法，包括步骤：在保持平坦性的同时预先将磁性物质靶连接到铝板上；在保持平坦性的同时将与铝板连接的磁性物质靶连接到背衬板上；在磁性物质靶连接到背衬板后，将铝板研磨除去。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||