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发明名称 Method for Manufacturing Semiconductor Devices by Using KrF Light Source
摘要
申请公布号 KR100840660(B1) 申请公布日期 2008.06.24
申请号 KR20060086664 申请日期 2006.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/027 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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