| 主权项 |
1.一种负压式气动微帮浦,其包含: 一驱动气体喷嘴,其系设于一矽晶圆片;该驱动气 体喷嘴具有一入口与一出口; 一驱动气体导入口,其系设于该矽晶圆片并与该入 口相连接; 一第一帮浦流体吸入口,其系设于该驱动气体喷嘴 之第一侧; 一第二帮浦流体吸入口,其系设于该驱动气体喷嘴 之第二侧; 一第一牵引流道,其第一端连接该第一帮浦流体吸 入口,其第二端连接该驱动气体喷嘴之第一侧; 一第二牵引流道,其第一端连接该第二帮浦流体吸 入口,其第二端连接该驱动气体喷嘴之第二侧;以 及 一渐扩排放流道,其第一端与该出口相连接,且该 渐扩排放流道之第一端与该第一牵引流道及该第 二牵引流道之第二端相连接并导通。 2.如申请专利范围第1项所述之负压式气动微帮浦, 其中更包含一上盖,该上盖与该矽晶圆片上方,该 上盖设有一第一孔洞、一第二孔洞与一第三孔洞, 该第一孔洞与该驱动气体导入口相导通,该第二孔 洞与该第一帮浦流体吸入口相导通,该第三孔洞与 该第二帮浦流体吸入口相导通。 3.如申请专利范围第2项所述之负压式气动微帮浦, 其中该第一孔洞与一导气管相连接。 4.如申请专利范围第2项所述之负压式气动微帮浦, 其中该第二孔洞与一第一吸入流管相连接。 5.如申请专利范围第2项所述之负压式气动微帮浦, 其中该第三孔洞与一第二吸入流管相连接。 图式简单说明: 第一图为本发明较佳实施例之负压式气动微帮浦 之结构示意图; 第二图为本发明较佳实施例之气动微帮浦装置之 结构示意图; 第三图为本发明较佳实施例之气动微帮浦之光罩 结构之结构示意图; 第四图为本发明较佳实施例之负压式气动微帮浦 之操作示意图; 第五图为本发明较佳实施例微帮浦汲取水流量的 实验数据图; 第六图为本发明较佳实施例微帮浦汲取空气流量 的实验数据图;以及 第七图为本发明较佳实施例微帮浦抽取真空的实 验数据图。 |
