| 摘要 |
Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen z-Sensor mit einer Empfindlichkeit, mit einer Torsionsfeder (100) und einer seismischen Zusatzmasse (40), wobei die Torsionsfeder (100) eine Federbreite (105) aufweist, wobei die seismische Zusatzmasse (40) Stege (110) mit einer Stegbreite (115) aufweist. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß die Stegbreite (115) kleiner als die Federbreite (105) gewählt wird. |
