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经营范围
发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR FORMING PHOTORESIST FILM
摘要
申请公布号
KR100839152(B1)
申请公布日期
2008.06.19
申请号
KR20010061028
申请日期
2001.09.29
申请人
发明人
分类号
G03F7/16
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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