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发明名称 Teilchenoptische Systeme
摘要
申请公布号 DE60320722(D1) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 DE2003620722 申请日期 2003.08.05
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 PREIKSZAS, DIRK DR.;STEIGERWALD, MICHAEL DR.
分类号 H01J37/147;H01J37/153;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/027 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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