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发明名称 IMPRINT LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHODS
摘要 An imprint lithography apparatus including a service station (136).
申请公布号 WO2008045520(A3) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 WO2007US21767 申请日期 2007.10.10
申请人 HEWLETT-PACKAARD DEVELOPMENT COMPANY, L. P.;WANG, SHIH-YUAN;WU, WEI;YU, ZHAONING 发明人 WANG, SHIH-YUAN;WU, WEI;YU, ZHAONING
分类号 G03F7/00;G03F1/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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