发明名称 Halbleiterprüfvorrichtung, Funktionsplatte und Schnittstellenplatte
摘要
申请公布号 DE112006002109(T5) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 DE200611002109T 申请日期 2006.08.01
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 ITO, YOSHIMASA;HAYASHI, SHOZO
分类号 G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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