Fabrication of microstructures for micro/nano-fluidic devices and MEMS microdevices using inorganic polymers and hydrophilic polymers,申请号KR20060045370-传众专利搜索

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发明名称	Fabrication of microstructures for micro/nano-fluidic devices and MEMS microdevices using inorganic polymers and hydrophilic polymers
摘要
申请公布号	KR100837829(B1)	申请公布日期	2008.06.13
申请号	KR20060045370	申请日期	2006.05.19
申请人		发明人
分类号	B82B3/00	主分类号	B82B3/00
代理机构		代理人
主权项
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