图像处理装置、图像描绘装置及系统

摘要

一种图像处理装置，在通过RIP处理向描绘用栅格数据展开前，取得用于在基板上直接描绘的表示布线图案的向量形式的格伯数据(100)，根据描绘时的分辨率或基板上的感光材料的种类设定检查处理的阈值后(102、104)，检出：是否包含圆周长小于阈值th1的圆弧部；是否包含半径之差为阈值th2以上的圆弧部；是否存在面积小于阈值th5的针孔区域；是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于阈值th6的图案；以及是否存在与互相邻接的图案的间隙小于阈值th7的图案(106～176)，当检出出错时，生成用于明示出错位置的格伯出错文件，并将出错位置显示在显示屏上(182、184)。从而防止因广播数据的原因发生用描绘装置的描绘过程中造成的基板不良。

主权项

1.一种图像处理装置，与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示的线图案的描绘装置连接、进行将表示所输入的所述布线图案的向量形式的图像数据向所述描绘用栅格数据展开的RIP处理，其特征在于：所述图像处理装置具备检查单元，该检查单元在对所输入的所述图像数据进行所述RIP处理之前，针对所述图像数据，检查是否存在经过利用所述描绘装置进行的描绘工序后制造的基板中会产生不良的缺陷。