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发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR ENHANCING POT LIFE OF HYDROGEN PEROXIDE-CONTAINING CMP SLURRIES
摘要
申请公布号 EP1929071(A1) 申请公布日期 2008.06.11
申请号 EP20060803687 申请日期 2006.09.15
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 WANG, YUCHUN;LU, BIN;PARKER, JOHN;MARTIN, ROGER
分类号 C23F3/06;C09G1/02;H01L21/321 主分类号 C23F3/06
代理机构 代理人
主权项
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