发明名称 Method and auxiliary apparatus of driving a pump for a thin film deposition apparatus while cleaning the duct of the pump
摘要
申请公布号 KR100837208(B1) 申请公布日期 2008.06.11
申请号 KR20010088745 申请日期 2001.12.31
申请人 发明人
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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