发明名称 |
一种用于消除静电的系统 |
摘要 |
一种用于消除静电的系统,包括一机械手臂、一设置在机械手臂前端的夹爪、一设置在机械手臂上的连杆组,以及一设置在连杆组上的静电消除器。静电消除器可借由连杆组在一固定范围内往复移动,以消除静电。 |
申请公布号 |
CN101197302A |
申请公布日期 |
2008.06.11 |
申请号 |
CN200710199151.4 |
申请日期 |
2006.04.28 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
刘家彰;陈庆育;赵启仲 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01);H01L21/00(2006.01);H05F3/04(2006.01);B65G47/90(2006.01);B65G49/06(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
1.一种用于消除静电的系统,该系统包括:一机械手臂;一夹爪,设置在该机械手臂前端;以及一杆状式静电消除器,设置在该机械手臂上,其中该杆状式静电消除器调整固定于特定角度,该杆状式静电消除器包括:一长形杆体,该长形杆体内设有一高压气体管路及一电源装置;多个放电针,设置在该长形杆体上,并电性连接该电源装置;以及多个喷嘴,设置在该长形杆体上,所述喷嘴各自对应于所述放电针,并与该高压气体管路相通。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |