| 发明名称 | 机械式晶圆固定装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型是关于一种机械式晶圆固定装置，其主要是用以装设于蚀刻机的整流环上，其是包括一基部与一身部，该本体是由基部向身部前端渐缩而呈一流线型，有助于气流通过，该基部设有定位孔可配合螺固件以固定于蚀刻机整流环，而该身部前端设有一穿孔，该穿孔内设有一压件与一弹性件，该压件是呈一细长杆状，有效缩小该压件与晶圆的接触面积，且借该弹性件提供压件压固时的缓冲效果，再配合该本体身部设有一较压件凸出的停止块，以防止本体对晶圆产生过大的向下总压力而造成破裂。 | ||
| 申请公布号 | CN201072755Y | 申请公布日期 | 2008.06.11 |
| 申请号 | CN200720148297.1 | 申请日期 | 2007.05.18 |
| 申请人 | 志圣工业股份有限公司 | 发明人 | 陈庆安 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1.一种机械式晶圆固定装置，其特征在于：其本体是包括一基部与一身部，该基部是供固定本体之用，而该身部前端设有一压件与一弹性件，借该弹性件提供压件压固时的缓冲效果。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||