具配方分配管理数据库的半导体芯片制造执行系统与方法

摘要

本发明公开了一种半导体制造执行系统，包括一个存储模块、一个比较模块和一个输出模块。存储模块储存一个基本数据库和一个配方分配管理数据库。基本数据库包括多个基本数据列，配方分配管理数据库包括多个配方分配管理数据列。比较模块将从一个制造机器所接收的操作数据先与每一配方分配管理数据列比较，再与每一基本数据列互相比较，以决定操作数据是否与至少一配方分配管理数据列和基本数据列互相匹配。

主权项

1.一种半导体制造执行系统(MES)，包括：一存储模块，用来储存一基本数据库和一配方分配管理(RDM)数据库，其中该基本数据库包括多个基本数据列，该配方分配管理数据库包括多个配方分配管理数据列；一比较模块，用来将来自一制造机器的一操作数据，与所述配方分配管理数据列和所述基本数据列互相比较，以决定该操作数据是否与所述配方分配管理数据列和所述基本数据列的至少一数据列相匹配；一输出模块，其中如果该操作数据与所述配方分配管理数据列的至少一数据列相匹配时，该输出模块输出一第一限制讯号。