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发明名称 INTERFEROMETRIC MEASUREMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1929238(A1) 申请公布日期 2008.06.11
申请号 EP20060793175 申请日期 2006.09.04
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SCHMIDTKE, BERND;KALLMANN, ULRICH;JACKISCH, SEBASTIAN;SPENNEMANN, HARTMUT
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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