发明名称 VERDRAHTUNGSÄNDERUNGEN IN INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN MITTELS GAS-UNTERSTÜTZTEM ÄTZEN MIT EINEM FOKUSSIERTEN IONENSTRAHL (FIB)
摘要
申请公布号 DE69938583(D1) 申请公布日期 2008.06.05
申请号 DE19996038583 申请日期 1999.10.08
申请人 FEI CO. 发明人 CHANDLER, CLIVE D.
分类号 H01J37/305;H01L21/768;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/311;H01L23/522 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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