Silicon based water control membrane,申请号KR20060110929-传众专利搜索

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发明名称	Silicon based water control membrane
摘要
申请公布号	KR100835703(B1)	申请公布日期	2008.06.05
申请号	KR20060110929	申请日期	2006.11.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/20	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
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