发明名称 |
薄膜图案层及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种薄膜图案层,其包括:一个基板;形成于基板上的多个挡墙,该多个挡墙间形成多个收容空间;及多个形成在收容空间内的薄膜层,其中,每行中的薄膜层厚度的分布是无规律的。所述的薄膜图案层,通过每行中同种材料的薄膜层厚度的无规律分布,使该行中同种材料的薄膜层厚度均匀性被打乱,变得不均匀,从而使光透过其后所产生的条纹缺陷减少或消除。本发明还提供一种薄膜图案层的制造方法。 |
申请公布号 |
CN101191857A |
申请公布日期 |
2008.06.04 |
申请号 |
CN200610149773.1 |
申请日期 |
2006.11.27 |
申请人 |
ICF科技有限公司 |
发明人 |
周景瑜;陈文卿 |
分类号 |
G02B5/23(2006.01);B41J2/01(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G02B5/23(2006.01) |
代理机构 |
北京申翔知识产权代理有限公司 |
代理人 |
周春发 |
主权项 |
1.一种薄膜图案层,包括:一个基板;形成于基板上的多个挡墙,该多个挡墙间形成多个收容空间,该收容空间呈行列状排列;及多个形成在收容空间内的薄膜层;其特征在于:每行中的薄膜层厚度的分布是无规律的。 |
地址 |
美国加州圣塔克来拉市史考特大道33号 |