单刀双掷微机电系统开关

摘要

各种构造的MEMS开关提供了单独可制动的触点。MEMS开关由改进的阳极接合技术来密封。

主权项

1.一种单刀双掷微机电系统开关，适于将连接至所述单刀双掷微机电系统开关的输入导体上的电信号耦合至选自至少包含第一输出导体和第二输出导体的组的输出导体，所述第一输出导体和所述第二输出导体都连接至所述单刀双掷微机电系统开关，所述单刀双掷微机电系统开关包括：其中微机械加工了以下结构的单材料层：a.以从包含一对面对面触发器和一对背对背触发器的组中选择的布置来构造的至少一对触发器；b.多对扭杆，其数量不少于触发器的数量，每对扭杆：i.分别布置在所述触发器的相对侧上并耦合至所述触发器中的一个；且ii.建立所述触发器能够绕其旋转的轴；和c.所述扭杆的离所述触发器最远的端部耦合至其上的框架，所述框架通过所述扭杆来支撑所述触发器，用于所述触发器绕由所述扭杆建立的所述轴的旋转；导电短路棒，其数量不少于所述触发器的数量，一个短路棒分别承载在每个触发器的远离所述触发器的所述旋转轴的端部处；基体，其连接至所述单层的第一表面；和衬底，其接合至所述单层的远离连接所述基体的第一表面的第二表面，所述衬底上形成有：a.电极，其数量不少于所述触发器的数量，每个电极与所述触发器的偏离至其转轴一侧的表面并置，在所述电极和所述触发器之间施加电势以驱动所述触发器绕由耦合至其的扭杆所建立的转轴旋转；和b.多对开关触点，其数量不少于所述触发器的数量，每对开关触点分别连接至所述输入导体和一个所述输出导体，并且每对开关触点：i.每对开关触点与由所述触发器中的一个所承载的短路棒相邻布置，但当没有力施加至所述触发器时与所述短路棒隔开；ii.当没有力施加至所述触发器时，每对开关触点彼此电绝缘；并且iii.基于施加足够强的力至所述触发器，其中所述力驱动所述触发器绕由每对扭杆建立的转轴旋转，每对开关触点与相邻的短路棒接触；由此，基于使每个触发器绕由耦合至其的所述扭杆所建立的转轴旋转至使所述短路棒接触所述开关触点的程度，所述短路棒的所述接触使得与由所述触发器所承载的短路棒相邻的开关触点电耦合在一起。