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发明名称
摘要
申请公布号 JP4093965(B2) 申请公布日期 2008.06.04
申请号 JP20030566887 申请日期 2003.01.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8246;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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