发明名称 |
图案形成方法、液滴喷出装置及电路基板 |
摘要 |
台架(23)将生料薄板(4G)载置到通气性的台架板(23b)上,并通过在台架板(23b)的下侧设置的橡胶加热器(H)将生料薄板(4G)加热到规定的温度。台架(23)通过经由吸引通路对台架板(23b)的下侧进行减压,使台架板(23b)的内部减压,从而对载置于该台架板(23b)上的生料薄板(4G)下侧的整体减压。滴落于生料薄板(4G)的液滴(Fb)进一步促进朝向生料薄板(4G)内部的蒸发。由此,可进一步缩短滴落于生料薄板(4G)的金属墨的干燥时间。从而,可提供以短时间形成高精度图案的图案形成方法、液滴喷出装置及电路基板。 |
申请公布号 |
CN101193499A |
申请公布日期 |
2008.06.04 |
申请号 |
CN200710196105.9 |
申请日期 |
2007.11.28 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
丰田直之;三浦弘纲 |
分类号 |
H05K3/14(2006.01);B41J3/407(2006.01);G02F1/133(2006.01) |
主分类号 |
H05K3/14(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1.一种图案形成方法,用于在基板上形成图案,通过将由含有功能材料的功能液构成的液滴喷出到被加热的通气性基板的上面,从而在所述通气性基板的上面形成所述图案。 |
地址 |
日本东京 |