建立光学近接修正模型的方法

摘要

一种建立光学近接修正模型的方法，包括下列步骤：从工艺中采集光学近接修正数据至数据库中；确定初始值X₀、结束值X_n和固定步长h；根据初始值X₀计算初始值斜率；根据初始值斜率和固定步长h得出初始优化步长Y₀；根据初始值X₀和初始优化步长Y₀得出第一相加值X₁；重复上述步骤，计算得出第二相加值X₂、第三相加值X₃……至结束值X_n；将初始值X₀、第一相加值X₁、第二相加值X₂、第三相加值X₃、……第n－1相加值和结束值X_n进行拟合。经过上述步骤，由于步长值可根据计算出的斜率来调节，这样会实现调节步数减少，模拟时间变短。

主权项

1.一种建立光学近接修正模型的方法，其特征在于，包括下列步骤：从工艺中采集光学近接修正数据至数据库中；确定初始值X0、结束值XN和固定步长h；根据初始值X0计算初始值斜率$\frac{\partial F}{\partial X}{|}_{X=X_0};$ 根据初始值斜率$\frac{\partial F}{\partial X}{|}_{X=X_0}$和固定步长h得出初始优化步长Y0；根据初始值X0和初始优化步长Y0得出第一相加值X1；重复上述步骤，计算得出第二相加值X2、第三相加值X3、......第n-1相加值至结束值Xn；将初始值X0、第一相加值X1、第二相加值X2、第三相加值X3、......第n-1相加值和结束值Xn进行拟合。