旋转头以及使用该旋转头处理基体的方法

摘要

一种旋转头,包括一可旋转板、多数用以支持一载置在该板上之基体之边缘部份的第一夹持销与第二夹持销、及一用以选择性地驱动该等第一与第二夹持销之驱动单元。该驱动单元包括一与该第一夹持销连接且设置于第一高度处之第一磁铁、一与该第二夹持销连接且设置于第二高度处之第二磁铁、及一用以驱动该等第一与第二磁铁之驱动磁铁。该驱动磁铁利用升降构件升降,以对该第一或第二磁铁选择性地施加一磁力,且由于一磁力而朝该第一或第二夹持销之半径外侧方向移动。