可变批量之载入口

摘要

一种可变批量之载入口组件,其具有一工具介面、一载入口门扉、一闩锁键、一前进平板、及一升降器。该工具介面大致上在垂直维度延伸并且具有一孔洞。该载入口门扉具有一关闭位置,其中该载入口门扉至少部分封闭该孔洞。该闩锁键是从该载入口门扉延伸,并用来与前开式集中晶圆盒(FOUP)之门扉的闩锁键插孔配对。该前进平板是用来支撑前开式集中晶圆盒(FOUP),并在收回位置及前进位置之间移动。该升降器抬高及降低该前进平板,以使FOUP门扉的闩锁键插孔对准载入口门扉的闩锁键。