晶片上条纹式电感器

摘要

本发明提供一种次100奈米半导体装置及用以制造装置之方法及程式产品,特别是,电感器包括设置于一介电质表面之复数个间隔平行金属线,且其每一具有决定为设计规则检测规则之函数的宽度、高度、间隔、及横截面积。针对一平坦化制程规则,决定并产生了80%金属对于20%介电质表面的一金属密度比例。在一范例中,金属线间隔空隙的总和小于金属线内部侧壁高度的总和。在一方面,选择线高度、宽度、及线间隔尺寸之至少之一,以最佳化一或多个晶片良率、晶片效能、晶片可制造性、及电感器Q系数参数。