太阳能电池保护方法

摘要

本发明系关于矽太阳能电池之制造,尤其是一种使结晶矽太阳能电池钝化之方法,这种方法是先在一适当的装置内使结晶矽在温度影响下经由一扩散过程与磷掺杂,以制成一种二极体,然后利用一种电浆法经由氮化矽沉积使矽表面钝化及减反射。本发明的目的是提出一种使太阳能电池钝化的方法,而且这种方法能够以最小的花费达到使太阳能电池的效能明显改善的效果。为达到上述目的,本发明提出之方法的特征是在沉积出氮化矽之前先以乾蚀法在蚀刻电浆中将靠近矽毛胚表面之含有高浓度磷的“死层"去除掉。