发明名称 Aufbau und Verfahren zum Bilden eines Feldeffekttransistors mit gekerbtem Gate
摘要
申请公布号 DE112004000745(B4) 申请公布日期 2008.05.29
申请号 DE20041100745T 申请日期 2004.05.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;IBM INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEINTNER, JOCHEN;LI, YUJUN;MOUMEN, NAIM;WRSCHKA, PORSHIA SHANE
分类号 H01L29/423;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/423
代理机构 代理人
主权项
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