多重光散射耦合的量子阱红外探测器

摘要

本发明公开了一种多重光散射耦合的量子阱红外探测器，该探测器由衬底层，依次逐层生长的下电极层、50个周期的多量子阱层、上电极层，在上电极层上有一浸没在有机粘胶剂中的金属小球或表面镀有金属的小球所形成的列阵层，列阵层上有一金属接触层，金属接触层上有一通过倒装焊接互连的读出电路，实现探测信号的读出。本发明的优点是：1.金属小球列阵取代了传统的光栅，通过金属小球之间的多重光散射产生能够被量子阱子带跃迁吸收的电矢量，该电矢量平行于量子阱层的分量，完成正入射光对量子阱的耦合。2.由金属小球列阵替代了传统的倒焊互连的铟柱，形成各向异性导电层，完成导电功能。由于以上特点，一方面能够提高正入射光的耦合效率，另一方面省去了铟柱的生长，简化了倒焊工艺。

主权项

1.一种多重光散射耦合的量子阱红外探测器，包括：衬底层(1)，在衬底层上通过分子束外延或金属有机化学汽相沉积依次逐层生长的下电极层(2)、50个周期的多量子阱层(3)、上电极层(4)，其特征在于：在上电极层(4)上有一浸没在有机粘胶剂中的金属小球所形成的列阵层(5)，列阵层(5)上有一金属接触层(6)，金属接触层(6)上有一通过倒装焊接互连的读出电路(7)，实现探测信号的读出；所说的金属小球的直径和金属小球之间的间距与所探测的红外波长有关。