| 发明名称 | 借助于等离子体产生远紫外线和/或软X射线辐射的装置和方法 | ||
| 摘要 | 描述了一种用于借助等离子体产生远紫外线和/或软X射线辐射的方法，该等离子体可以通过照射材料而产生。为了获得光学照明系统污染的降低以及辐射源(50)功率的瞬时最优化，建议借助阻挡装置(70)至少控制材料的数量。 | ||
| 申请公布号 | CN100391316C | 申请公布日期 | 2008.05.28 |
| 申请号 | CN200480007227.3 | 申请日期 | 2004.03.09 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | P·辛克 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01) | 主分类号 | H05G2/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;陈景峻 |
| 主权项 | 1.一种装置，用于借助于等离子体(80)产生远紫外线和/或软X射线辐射，该等离子体(80)可通过照射材料产生，其特征在于该装置至少包括：用于在物质束(40)进入到辐射源之前控制该物质束(40)的阻挡装置(70)，所述阻挡装置(70)包括至少一个盘(72)，该盘具有至少一个允许物质束(40)通过的空隙，通过其轴(74)基本上沿着物质束(40)方向延伸的驱动器(76)控制该盘(72)进行旋转。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||