阻气性塑料容器的制造装置、该容器的制造方法及该容器

摘要

本发明涉及阻气性塑料容器的制造装置、该容器的制造方法及该容器，本发明的制造装置可满足下述目的：在制造阻气性塑料容器时，为了使装置价格降低，能同时满足对不同形状的容器也可使用相同的真空腔、不需要高频电源以及可在一个真空腔内对两个以上的容器进行成膜这几方面的要求。在本发明的对容器内表面进行成膜的装置中，将热催化剂体由原料气体供给管进行支持，将原料气体供给管插入到容器口部后进行成膜。对容器外表面进行成膜的装置中，将热催化剂体配置在容器的周围，在使原料气体与热催化剂体相接触的同时从原料供给管中吹出原料气体进行成膜。进行冷却以使容器不因热催化剂体发出的热而发生热变形。可以得到例如形成了膜厚为5nm～100nm且含氢率为1原子％～10原子％的含氢SiN_x薄膜的容器。

主权项

1.一种阻气性塑料容器的制造装置，该制造装置的特征在于，其具有：容纳塑料容器的真空腔；对该真空腔进行抽真空的排气泵；可插脱地配置在所述塑料容器的内部的原料气体供给管，其将原料气体供给至所述塑料容器的内部，由绝缘且耐热的材料形成；由该原料气体供给管进行支持的热催化剂体；对该热催化剂体通电使其发热的加热电源。