掺稀土元素聚合物波导的制造方法

摘要

本发明揭示了一种掺稀土元素聚合物波导的制造方法，包括如下步骤：准备基片；在基片上旋转涂覆聚合物，形成下包层；在下包层上旋转涂覆由聚合物及可受激发光的稀土金属离子络合物组成的混合物，形成芯层；利用掩模板、紫外线曝光及蚀刻技术，形成至少一个信道波导；在信道波导及下包层暴露的部分上面旋转涂覆聚合物，形成上包层。本发明是利用稀土金属离子与有机化合物络合形成络合物，再将此络合物溶于聚合物中，从而增大了稀土金属离子在聚合物基质中的溶解度。为得到相同浓度的掺稀土金属离子的波导，本发明所需的稀土金属离子量与现有技术相比更少，因此可减少稀土金属离子的使用量，降低制造成本。

主权项

1.一种聚合物波导的制造方法，包括如下步骤：准备基片；在该基片上旋转涂覆聚合物形成下包层；在该下包层上旋转涂覆形成芯层，该芯层由聚合物及一定量的稀土金属离子络合物组成的混合物构成，该稀土金属离子络合物由有机化合物与可受激发光的稀土金属离子络合而成；利用掩模板、射线曝光及蚀刻技术，在该芯层形成至少一个信道波导；旋转涂覆聚合物，形成上包层以覆盖该信道波导。