| 主权项 |
1.一种小功率微波等离子体源，该等离子体源，需与微波源联用，其特征在于，含接地平面(10)、基片(20)、馈电同轴(1)、微带螺旋电感线圈(3)、过渡微带线(2)、调谐电容(4)和调配电容(5)，基片(20)的构成材料是耐高温、耐腐蚀的低损耗介质，接地平面(10)、微带螺旋电感线圈(3)、过渡微带线(2)、调谐电容(4)的极片和调配电容(5)的极片的构成材料是高导电率的金属材料，微带螺旋电感线圈(3)、过渡微带线(2)、调谐电容(4)和调配电容(5)是平面电子元件，微带螺旋电感线圈(3)的外径介于3.5mm～4.5mm，微带螺旋电感线圈(3)的线宽w介于20μm～140μm，微带螺旋电感线圈(3)的匝间距s介于10μm～70μm，微带螺旋电感线圈(3)的匝数n介于2～8，调谐电容(4)的第一极片(41)和第二极片(42)位于同一个平面，微带螺旋电感线圈(3)、过渡微带线(2)、调谐电容(4)和调配电容(5)的上极片(51)沉积在基片(20)的上表面(21)，接地平面(10)作为调配电容(5)的下极片(52)沉积在基片(20)的下表面(22)，微带螺旋电感线圈(3)的始端(31)经过渡微带线(2)、调谐电容(4)与调配电容(5)的上极片(51)连接，微带螺旋电感线圈(3)的终端(32)经分布电容与调配电容(5)的下极片(52)连接，馈电同轴1以其芯柱(33)和外套(34)分别与上极片(51)和下极片(52)连接的方式跨接在调配电容(5)的两端，该等离子体源的谐振频率介于1GHz～3.5GHz，工作时，微波源的输出信号通过馈电同轴(1)馈加在调配电容(5)的两端。 |
