| 摘要 |
对来自DMD之微小平面镜群之光,所导引到之感光材料上之照射区域群进行主扫描,以便在感光材料上之条带区域进行光之照射,并使主扫描重复进行,对在副扫描方向有部份重叠之多个条带区域顺序地照射光,藉以用来在感光材料上描绘图案。这时,当先行照射区域群(6a)和后续照射区域群(6b)重复通过感光材料上之重复区域(73a)时,使微小平面镜群中之与重复区域(73a)对应之一部份无效化,藉以用来在重复区域(73a)之各个位置,使先行照射区域群(6a)和后续照射区域群(6b)通过之累计时间,比在非重复区域(721、722)之各个位置,先行照射区域群(6a)或后续照射区域群(6b)通过之时间为短,用来使在重复区域(73a)之感光和非重复区域(721、722)之感光成为相同之程度。 |
