具有自动对准空气间隙绝缘体之电阻随机存取记忆体的制造方法

摘要

本发明系有关于一种具有自动对准空气间隙绝缘体之电阻随机存取记忆细胞的制造方法。一高密度电浆沈积于图案化后的层次堆叠之上产生一硬式幕罩,其大致位于处且于此图案化后的层次堆叠的覆盖层之上。此高密度电浆沈积利用一较小临界尺寸进行以在此图案化后的层次堆叠的覆盖层之上产生一较小的三角形且位于靠近次覆盖层的处。此硬式幕罩可以防止硬式幕罩基底之下的区域被蚀刻,而此硬式幕罩提供一自对对准技术以蚀刻此图案化后的层次堆叠的左右两侧区段,因为此硬式幕罩系位于处且于此图案化后的层次堆叠的覆盖层之上。