发明名称 多重曝光装置
摘要 【【课题】】提供以不使资料转送的规模扩大而进行从控制部朝装置头部的资料转送的装置。【【解决手段】】多种曝光装置1系具备在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量资料的绘制资料而被作成的网路资料的复数的曝光资料中、基于前后曝光资料间的差异而作成差异资料的曝光资料产生部11。具备具有在曝光用中被使用的DMD33、以及基于差异资料驱动DMD的元件控制部31的装置头部30。
申请公布号 TW200821775 申请公布日期 2008.05.16
申请号 TW096140016 申请日期 2007.10.25
申请人 奥克制作所股份有限公司 发明人 奥山隆志
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 日本