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本发明揭示一种用于控制一辐射源之功率之系统,其包含一感测器FS、一回馈网路FN及一辐射源功率控制电路LPCC。该感测器接收由一辐射源LS产生之一辐射束之一部分LBP且提供一表示一辐射源功率之类比信号AFS。该回馈网路FN连接至该感测器FS。该辐射源功率控制电路LPCC连接至该回馈网路FN且连接至该辐射源LS。该回馈网路FN包含一扫描长度补偿模组RCM,该扫描长度补偿模组RCM包含:-一取样模组SM,其基于该类比信号AFS而提供一数位信号DFS,-至少一误差控制信号产生器ECSG,其执行一振幅补偿且将至少一数位误差控制信号ECS提供至该辐射源功率控制电路LPCC以便控制该辐射源LS之该功率。 |
